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AOI
Automatic Optical Inspection 基板を工学的に検査する方法です。サンプル基板と被検査品の不一致部分を検出する一方、デザインルールを逸脱した部分を抽出して良否を判定します。 ショート・断線・回路の突起・細り・銅残りにピンホールなど、回路上の欠陥はほとんど検出が可能ですが、電気的な導通保証はできないことと、スルホール内部の検査ができません。